Large area submicron surface relief stuctures by interference lithography

Not for data collection

Publication information

OKM publication type
B2
Category
Artikkelit ja abstraktit
Sub category
Artikkelit tieteellisissä kokoomateoksissa
Type
Alkuperäisartikkeli
Refereed
Ei

Authors of the publication

Authors
H. Tuovinen;J. Karppinen;P. Laakkonen;J. Lautanen;J. Laukkanen;K. Ventola;K. Jefimovs;O. Svirko;M. Kuittinen;J. Turunen;T. Levola
Local authors
Author
Tuovinen Hemmo
Unit
Ei laitostietoa
Author
Laukkanen Janne
Unit
Ei laitostietoa
Author
Svirko Olga
Unit
Ei laitostietoa
Author
Turunen Jari
Unit
Ei laitostietoa
Author
Ventola Kalle
Unit
Ei laitostietoa

Publication channel information

Title of host publication
Optics Days-Optiikan päivät Proceedings 2005, Jyväskylä 12.5.2005-13.5.2005
Internationality
No

Detailed publication information

Publication year
2005
Page numbers
65
Language of publication
English

Co-publication information

International co-publication
Yes

Classification and additional information

Subject headings
, micro lithography, diffractive optics, nanostructures,