Impact of ALD grown passivation layers on silicon nitride based integrated optic devices for very-near-infrared wavelengths

Hyväksytty

Luokittelutiedot

OKM-julkaisutyyppi
A1
Laji
Artikkelit ja abstraktit
Referoitu
Kyllä
Alalaji
Tieteelliset aikakauslehtiartikkelit
Tyyppi
Alkuperäisartikkeli

Julkaisun tekijät

Tekijöiden lukumäärä
9
Tekijät
Khanna Amit, Subramanian Ananth, Häyrinen Markus, Selvaraja Shankar, Verheyen Peter, Van Thourhout Dries, Honkanen Seppo, Lipsanen Harri, Baets Roel
Paikalliset tekijät
Tekijä
Häyrinen Markus
Tekijä
Honkanen Seppo

Julkaisukanavan tiedot

Lehden/sarjan nimi
Optics express
ISSN-E (elektroninen)
1094-4087
ISSN-L (linking)
1094-4087
Julkaisun JUFO ID
64457
Julkaisun JUFO-taso
2
Kansainvälisyys
Kyllä

Julkaisun tarkemmat tiedot

Julkaisuvuosi
2014
Ilmoitusvuosi
2014
Lehden/sarjan volyymi
22
Lehden/sarjan numero
5
Sivunumerot
5684-5692
DOI
10.1364/OE.22.005684

Yhteisjulkaisutiedot

Kansainvälinen yhteisjulkaisu
Kyllä

Luokitukset ja lisätiedot

OKM-tieteenalaluokitus
114 Fysiikka