Coating technique for e-beam sensitive polymers on non-flat surfaces and their suitability for e-beam exposure

Not for data collection

Classifications

MinEdu publication type
Abstract
Category
Artikkelit ja abstraktit
Refereed
Ei
Sub category
Artikkelit ja abstraktit tieteellisissä konferenssijulkaisuissa
Type
Abstrakti

Publication information

Category
Artikkelit ja abstraktit
Sub category
Artikkelit ja abstraktit tieteellisissä konferenssijulkaisuissa
Type
Abstrakti

Authors of the publication

Authors
B. Päivänranta, K. Leinonen, M. Kuittinen, M. Pudas ja O. Pitkänen
Local authors
Author
Päivänranta Birgit
Author
Leinonen Kari

Publication channel information

Title of host publication
The 53rd international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication
Internationality
Yes

Detailed publication information

Publication year
2009
Page numbers
P-1F-25